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ナノプローブ電子分光型電顕とは？
ナノプローブ電顕
電子線の広がりがほぼ1nm(10-9m)の電顕
電子分光とは？
エネルギーE0の電子とΔEだけエネルギーを失った電子を分けること。
拡大像における分光の役割
Al金属結晶中の転位(白い線状コントラスト)を示す像。従来の電顕による像(E0〜E0-ΔEの電子を利用)(左)と電子分光像(E0の電子による像)(右)。電子分光鏡では色収差の影響がないため、より鮮明な像が得られる。
回折図形における分光の役割
従来法による回折図形(左)がΔEを除去した結果(右)鮮明になる。
電子分光による元素分布像
ナノプローブの電子線を走査し、E0、ΔEN、ΔEC、ΔEOの強度分布により試料中の元素(N,
C, O)の二次元的な像コントラストが得られる。
収束回折図形における分光の役割
ナノプローブによる回折図形の従来法(左)とΔEを除去した結果(右)の比較。
新しいナノスケールの結晶構造解析法の開発！
電子分光スペクトルからの情報
ΔEのエネルギーを失った電子強度（縦軸）のΔE（横軸）依存性から電子状態を知ることが可能。
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