木下 智見（工学研究院 エネルギー量子工学 教授）
 電子顕微鏡 (電顕)とは？
顕微鏡（Microscope）
直接目で分解できない物体を拡大して見る装置
分解能
肉眼 ：0.1~0.2mm
光学顕微鏡 ：~300nm=0.3x10-3mm
透過型電子顕微鏡：~0.1nm=0.1x10-6mm
(1mm:1000分の1m; 1nm:10億分の1m)
光学顕微鏡と電子顕微鏡の相違点
・光線の代わりに電顕では電子線を用いる。
・ランプの様な光源の代わりに電顕では電子銃を用いる。
・ガラスレンズの代わりに電顕では磁場レンズを用いる。
・電子線は空気中で吸収されるため、鏡体内を真空に保つ。
・電子線は直接目で見ることができないため、蛍光板や
写真フィルムなどで光に変えて観察する。
電子顕微鏡で得られる情報とは？
 電子と物質の相互作用（右図参照）
観るための要素（透過電顕像、回折図形）
１．分解能（短い波長と良いレンズ）
２．明るさ（強い光源・電子銃）
３．明暗の差［コントラスト］
光・電子と物質の相互作用を有効に利用
４．鮮明度（ΔEの除去）（右図参照）
測る電顕（ナノサイズの電子線照射領域の局所分析）
オージェ電子 ・・・表面の電子状態
散乱・２次電子 ・・・表面の組織・形態
Ｘ線 ・・・局所組成分析
電子エネルギー損失分光・・・局所状態分析
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